“6686体育”中科院微电子所建成国际一流的硅光子平台

近期，中科院微电子所硅光子平台器件已完成了平台工艺设计工具包（PDK）与国际主流光子构建设计软件PhoeniXSoftware和LucedaPhotonicsIPKISS的构建，标志着微电子所竣工国际一流的硅光子平台。硅光子技术是利用成熟期的CMOS平台和技术，使用硅基材料展开光电器件和芯片的研发与生产。该技术是后摩尔时代微电子横跨领域发展的方向之一，也是光电子南北大规模构建的必定途径。硅光子不仅在现阶段的光通信、光点对点领域有急迫的应用于市场需求，在未来的芯片内光点对点和光计算机上都有最重要的应用于前景。

微电子所硅光子平台基于微电子所先导中心成熟期的8英寸CMOS工艺线，与中国电科38所、中科院半导体所、武汉邮电科学院合作展开研发。通过硅光子器件库的设计、流片、测试、优化递归，研发了成套硅光子生产工艺库和器件库，定义了平台设计规则与图层，构成了再版PDK内容。自2017年5月公布以来，平台已接续国内30多家单位的MPW流片及自定义流片，器件测试结果超过国际先进设备水平，获得了业内人士的高度评价。

为了进一步提高平台能力和规范服务流程，平台近期与国际著名光子构建设计软件商PhoeniXSoftware合作，将PDK内容与其设计软件展开构建，研发了PhoeniXSoftware下的IMECAS软件包。嵌入在OptoDesigner的IMECASPDK除反对最基本的器件相连外，还反对版图和建模构建的设计环境、还包括Manhattan型在内的多种智能布线、动态设计规则检查、以及不依赖明确工艺平台的设计方法，可将基于其他平台的设计高效移往至微电子所硅光子平台。与此同时，由平台合作开发伙伴中国电科38所主导研发了LucedaPhotonicsIPKISS下的IMECAS软件包，包括了设计手册、DRC脚本、器件库等。

其中器件库以CompactModel形式获取，包括器件layout，以及基于测试数据的S-matrix模型，可利用IPKISS软件获取的Caphe引擎已完成光子链路建模。基于上述技术构建，微电子所硅光子平台将为客户获取更加便利、灵活性的产品设计方案，大大提高设计效率，不利于客户的产品更慢地投放到市场。

背景讲解：PhoeniXSoftware公司创立于1991年，作为光电设计自动化先锋，其业务覆盖面积全球35个国家和地区，为全球主要晶圆厂如IMEC、CEA-LETI、VTT、INPHOTEC、SMARTPhotoncs、HHI、LioniX、Ligentec、美国Sandia、AIM和TowerJazz等获取嵌入在OptoDesigner软件中的PDK。Luceda是国际著名的硅光子设计软件工具提供商，主要获取硅光子和大规模构建光学软件的专业工具，为用户获取末端到端的解决方案，是IMEC、IME、IHP、Ligentec、SmartPhotonics等光子构建供应商最重要的合作伙伴。

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